Półprzewodnikowe części obrabiane CNC
Produkujemy na zamówieniepółprzewodnikowe części obrabiane CNCz rysunków klientów i plików CAD, w tymelementy komory próżniowej, płyty i złączki do dystrybucji gazu, części do obsługi i mocowania płytek, elementy pomp i zaworów, części RF, płyty chłodzące, radiatory i elementy zestawów procesowych. Nasze możliwości w zakresie toczenia, frezowania CNC, obróbki 5-osiowej, szwajcarskiego CNC i frezowania- pozwalają na obsługę komponentów o wąskich tolerancjach do sprzętu do wytrawiania, osadzania, litografii, implantacji jonów, CMP i sprzętu metrologicznego.
Części sprzętu półprzewodnikowego żyją w innym świecie niż zwykłe części przemysłowe: muszą przetrwaćpróżnia, korozyjne gazy procesowe, plazma, cykliczne zmiany temperatury i wymagania dotyczące-kontroli cząstek. Wybór materiału jest zatem pierwszą decyzją w każdym projekcie obróbki półprzewodników. Obrabiamy dokładne gatunki -Stal nierdzewna 316L VIM-VAR i 316L, aluminium 6061-T6 i 7075-T6, tytan klasy 5, molibden TZM, miedź OFHC C10100, stopy niklu i konstrukcyjne tworzywa sztuczne PEEK/PTFE- i zastosuj wykończenia zgodne z pomieszczeniami czystymi- tam, gdzie jest to wymagane. Części produkowane są według określonych wymiarów, tolerancji, materiałów i wymagań wykończeniowych, a certyfikaty materiałowe dostępne są na życzenie.
Od pojedynczych prototypów do opracowania nowych narzędzi po powtarzalne serie produkcyjne zapasowych zestawów procesowych – obrabiamy komponenty półprzewodnikowe zgodnie z rysunkiem - bez względu na ilość.
Części obrabiane CNC do zastosowań półprzewodnikowych
Sprzęt do wytrawiania i osadzania
Korpusy komór · wykładziny komór · płyty rozprowadzające gaz · zespoły elektrod · pierścienie ogniskujące · pierścienie zaciskowe · elementy mocujące głowicę prysznicową
Przybory:6061-T6 · 316L VIM-VAR · Tytan klasy 5
Systemy próżniowe i dostawa gazu
Kołnierze próżniowe (CF/KF/ISO) · elementy zasuwy · złączki przewodów gazowych · uszczelnienia czołowe typu VCR- · bloki przyłączeniowe · części montażowe pompy
Przybory:316L VIM-VAR · 316L · 304L · 6061-T6
Obsługa i transport płytek
Ramiona robotów · Efektory końcowe · Zaciski do płytek · uchwyty krawędziowe · elementy kaset · części podnośnika i wideł · mocowania kinematyczne
Przybory:6061-T6 · 7075-T6 · · Miedź berylowa C17200 · Tytan klasy 5
Części do implantacji jonów i linii wiązki
Elementy linii wiązki · elektrody · otwory · części tłumiące i odciągowe · osłony wysoko-temperaturowe
Przybory:TZM molibden · Wolfram W · Tantal Ta-2,5W
Komponenty mocy RF i plazmy
Złącza RF · Obudowy przelotowe · Uchwyty elektrod · Części ekranujące · Sprężyny stykowe
Przybory:C10100 Miedź OFHC · C11000 · C17200 · 6061-T6 · 316L
Zarządzanie temperaturą i CMP
Płyty chłodzące · Elementy agregatów chłodniczych · Radiatory · Części głowicy CMP · Pierścienie ustalające · Elementy płyt dociskowych
Przybory:Miedź C10100 OFHC · 6061-T6 · 316L
Sprzęt metrologiczny i kontrolny
Mocowania optyczne · Elementy sceniczne · Płyty podstawy · Uchwyty wyrównujące · Kinematyczne elementy montażowe
Przybory:6061-T6 · 7075-T6 · Tytan klasy 5
Sprzęt do przetwarzania na mokro i czyszczenia
Elementy zbiornika i wanny · Ramiona natryskowe · Uchwyty dysz · Części wałków i szczotek · Złączki odporne na środki chemiczne-
Przybory:316L · Hastelloy C-276 · Tytan klasy 2
Produkujemy półprzewodnikowe części obrabiane CNC
Elementy komory próżniowej
Korpusy komór, pokrywy, wykładziny i pierścienie montażowe o kontrolowanej płaskości, powierzchniach uszczelniających i niskich wymaganiach odgazowania.
Przybory:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 316L
Kołnierze i złączki próżniowe
Kołnierze, złączki, adaptery i złączki przewodów gazowych CF (ConFlat), KF i ISO do zastosowań UHV.
Przybory:316L VIM-VAR · 316L · 304L
Płyty i dysze do dystrybucji gazu
Precyzyjnie-nawiercone płytki dystrybucyjne, dysze inżektorów i elementy montażowe głowicy prysznicowej.
Przybory:6061-T6 · Tytan klasy 5 · 316L
Zaciski, pierścienie i uchwyty do płytek
Pierścienie ostrości, pierścienie zaciskowe, uchwyty krawędziowe i prowadnice waflowe zapewniające ścisłą płaskość i kontrolę wymiarów.
Przybory:6061-T6 · C17200 · Tytan klasy 5
Ramiona robotów i efektory końcowe
Ramiona do przenoszenia wafli, widelce i efektory końcowe o zrównoważonej masie, sztywności i kontroli cząstek.
Przybory: 7075-T6 · 6061-T6 · C17200
Elementy pompy i zaworu
Obudowy, wirniki, łopatki, grzybki, gniazda i części trzpieni do pomp suchych, zasuwy i sprzęt do kontroli-masowego przepływu.
Przybory:316L · 17-4 PH · Hastelloy C-276
Zestaw procesowy i części eksploatacyjne
Wymienne części zestawu przeznaczone do powtarzalnych zamówień przy zachowaniu stałych tolerancji i czystości.
Przybory:6061-T6 · Tytan klasy 5 · 316L VIM-VAR
Płyty chłodzące i radiatory
Chłodzone wodą-płyty, radiatory i części agregatów chłodniczych o płaskich-powierzchniach krytycznych.
Przybory:Miedź C10100 OFHC · 6061-T6 · 316L
Komponenty RF i kontaktowe
Obudowy RF, części złączy, sprężyny stykowe i elementy ekranujące EMI.
Przybory: C10100 · C11000 · C17200 · 6061-T6
Masz niestandardową część półprzewodnikową? Wyślij swój plik CAD
Procesy obróbki CNC części półprzewodnikowych
Toczenie CNC
Najlepsze dla:Złączki · złączki · trzonki zaworów · wirniki pomp · dysze
Idealny do elementów cylindrycznych o małej koncentryczności.
Frezowanie CNC
Najlepsze dla:Korpusy komór · Płyty podstawy · Rozdzielacze · Wsporniki
Nadaje się do elementów płaskich, pryzmatycznych i wielofunkcyjnych.
5-osiowa obróbka CNC
Najlepsze dla:Efektory końcowe · złożone obudowy · komponenty RF
Obrabia złożone geometrie i złożone kąty w jednym ustawieniu.
Toczenie CNC-Frezowanie
Najlepsze dla:Złączki przewodów gazowych · Części łączące z elementami frezowanymi
Łączy toczenie i frezowanie w przypadku skomplikowanych części obrotowych.
Szwajcarska obróbka CNC
Najlepsze dla:Drobne okucia · elementy czujników · precyzyjne kołki
Zaprojektowane z myślą o małych, smukłych i-dużo precyzyjnych komponentach.
Szlifowanie i honowanie CNC
Najlepsze dla:Powierzchnie uszczelniające · Gniazda łożysk · Otwory precyzyjne
Stosowany do krytycznych średnic, pasowań i wykończeń lustrzanych (osiągalny Ra 0,1–0,4 μm).
Półprzewodnikowe materiały do obróbki CNC
W przypadku elementów półprzewodnikowych wybór materiału zależy odkompatybilność próżniowa, chemia procesu, opór plazmy, temperatura, magnetyzm, wytwarzanie cząstek i zarządzanie temperaturą. Zajmujemy się obróbką szerokiej gamy metali i tworzyw konstrukcyjnych do komór, systemów gazowych, obsługi płytek, części RF i termicznych.
| Tworzywo | Wspólne stopnie | Typowe zastosowania półprzewodników | Kluczowe zalety |
|---|---|---|---|
| Aluminium | 6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32 | Korpusy komór, płyty podstawy, ramiona robota, radiatory, wsporniki | Lekki, anodowany, dobra przewodność cieplna; 6061-T6 to koń pociągowy w zakresie sprzętu komorowego |
| Stal nierdzewna | 304L · 316L · 316L VIM-VAR · 17-4 PH (630) | Kołnierze podciśnieniowe, złączki gazowe, części zaworów,-osprzęt o wysokiej wytrzymałości | Odporność na korozję i temperaturę; 316L VIM-VAR to standard dla usług UHV o niskim-odgazowaniu |
| Tytan | Stopień 2 (CP) · Stopień 5 (Ti-6Al-4V) | Części do dystrybucji gazu, zestawy procesowe, sprzęt do przetwarzania na mokro | Odporność na plazmę i chemikalia, wysoka wytrzymałość-w-masie, nie-magnetyczna |
| Miedź | C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 miedź berylowa | Części RF, płyty chłodzące, sprężyny stykowe, sprzęt elektryczny | Doskonała przewodność elektryczna i cieplna; OFHC idealny do zarządzania RF i ciepła |
| Stopy niklu | Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36 | Armatura-odporna chemicznie,-części wysokotemperaturowe, konstrukcje metrologiczne | Odporność chemiczna i temperaturowa; Invar 36 charakteryzuje się-prawie zerową rozszerzalnością cieplną |
Dlaczego 316L VIM-VAR?W przypadku komponentów pracujących w ultra-wysokiej-próżni (UHV) wykonujemy obróbkę skrawaniemVIM 316L-VAR- podwójnie-stopiona stal nierdzewna o bardzo niskiej zawartości gazu i wtrąceń. Mniej odgazowuje, spawa bardziej przewidywalnie i pozostaje czysty w pracy próżniowej. Jeśli na rysunku określono VIM-VAR lub elektropolerowany materiał 316L, możemy dostarczyć materiał z pełną certyfikacją.
Wybór materiałów do środowisk próżniowych i pomieszczeń czystych
Kompatybilność próżniowa i odgazowywanie
Materiały wewnątrz komory nie mogą odgazowywać ani zatrzymywać cząstek.. 316L VIM-VAR, 6061-T6 są często wybieranymi; porowatość i wykończenie powierzchni są kontrolowane, aby utrzymać niskie odgazowanie.
Odporność chemiczna i plazmowa
Halogeny i fluorowane gazy procesowe atakują wiele metali. Molibden TZM, Ta-2,5W, Hastelloy C-276, tytan klasy 5 zostały wybrane ze względu na chemię korozyjną i ekspozycję na plazmę.
Kontrola cząstek i zanieczyszczeń
Zużycie, krawędzie i uwięzione zanieczyszczenia generują cząsteczki, które zmniejszają wydajność. Gratujemy każdą krawędź, kontrolujemy chropowatość powierzchni i czyścimy części do standardów pomieszczeń czystych przed pakowaniem.
Zarządzanie ciepłem
Ciepło wpływa na jednorodność procesu. Miedź C10100 OFHC i 6061-T6 są używane do chłodzenia płyt i radiatorów; TZM i wolfram obsługują wysokotemperaturowe części linii promieniowych i komór.
Właściwości magnetyczne i elektryczne
Niektóre procesy wymagają-materiałów niemagnetycznych, takich jak tytan 316L klasy 5; Sprzęt RF i uziemiający wykorzystuje miedź OFHC C10100 i miedź berylową C17200.
Precyzja i stabilność
Części metrologiczne i litograficzne wymagają stabilności wymiarowej: aluminium 6061-T6 i 7075-T6, tytan klasy 5 utrzymują geometrię pomimo zmian temperatury.
Tolerancje i specyfikacje obróbki półprzewodników CNC
Komponenty półprzewodnikowe często wymagają-mikronowej dokładności na powierzchniach uszczelniających, punktach odniesienia, powierzchniach stykowych-płytek i precyzyjnych otworach, dzięki czemu narzędzia są montowane prawidłowo, a procesy pozostają powtarzalne.
| Specyfikacja | Typowa zdolność | Typowe zastosowania półprzewodników |
|---|---|---|
| Wymiary liniowe | ±0,01 mm (dokładność do ±0,005 mm) | Części komór, płyty podstawy, kolektory |
| Średnica otworu i wału | ±0,005–0,01 mm | Wirniki pomp, trzpienie zaworów, złączki precyzyjne |
| Płaskość | Do 0,01 mm/100 mm | Powierzchnie uszczelniające, płyty chłodzące, mocowania kinematyczne |
| Koncentryczność / bicie | Do 0,01 mm | Obracające się części pomp, sprzęgła |
| Prawdziwa pozycja | ±0,01 mm | Wzory-otworów na śruby, otwory rozprowadzające gaz |
| Chropowatość powierzchni | Ra 0,2–0,8 µm w standardzie; Ra 0,1–0,4 µm na zamówienie | Powierzchnie uszczelniające,-powierzchnie stykowe płytek, wnętrza komór |
| Gratowanie krawędzi | Kontrolowane według rysunku (dostępne mikro-gratowanie) | Wszystkie cząstki-krytyczne części |
| Tolerancja gwintu | Zgodnie z wymaganiami ISO/ASME | Złączki, kołnierze, elementy montażowe |
Krytyczne funkcje, które kontrolujemy
Rowki uszczelniające i-pierścienie uszczelniające- kontrolowana głębokość, szerokość i wykończenie powierzchni w przypadku uszczelek próżniowych i płynnych.
Wafle-Powierzchnie kontaktowe- kontrola płaskości i chropowatości, aby uniknąć uszkodzenia płytek i wytwarzania cząstek.
Precyzyjne otwory i pasowania- dokładne otwory do łożysk, wałów i komponentów pasowanych-na wcisk.
Otwory dystrybucyjne gazu- dokładny rozmiar otworu, położenie i gratowanie w celu zapewnienia równomiernego przepływu gazu.
Elementy bazowe i montażowe- spójne punkty odniesienia dla powtarzalnego montażu i wyrównania.
Wykończenia powierzchni półprzewodnikowych części CNC
Wykończenie powierzchni jest częścią strategii zapobiegania zanieczyszczeniom i korozji w sprzęcie półprzewodnikowym. Właściwe wykończenie kontroluje cząsteczki, odgazowywanie, odporność chemiczną i zachowanie elektryczne.
| Wykończenie powierzchni | Obowiązujące materiały | Typowe części półprzewodnikowe | Główna korzyść |
|---|---|---|---|
| Elektropolerowanie | 316L VIM-VAR · 316L · 304L | Kołnierze podciśnieniowe, przewody gazowe, wykładziny komór | Usuwa materiał powierzchniowy i wtrącenia; zmniejsza odgazowanie i wychwytywanie cząstek |
| Pasywacja | 316L · 304L · 17-4 PH | Armatura, elementy złączne, części zaworów | Usuwa wolne żelazo, poprawia odporność na korozję |
| Anodowanie typu II | 6061-T6 · 6063-T5 | Korpusy komór, płyty podstawy, wsporniki | Warstwa izolacyjna,-odporna na korozję; opcje kolorów |
| Anodowanie twarde (typ III) | 6061-T6 · 7075-T6 | Powierzchnie ścieralne, prowadnice, części robota | Twarda, odporna na zużycie-warstwa ochronna |
| Bezprądowe niklowanie | 6061-T6 · 7075-T6 · Stal | Osprzęt komory, części zestawu procesowego | Jednolita ochrona przed zużyciem i korozją |
| Pozłacane | C10100 · C11000 · 6061-T6 | Styki RF, części złączy | Niska rezystancja styku, ochrona przed korozją |
| Cynowanie | C10100 · C11000 | Przewodniki elektryczne, szyny zbiorcze | Lutowalność i ochrona przed korozją |
| Wydmuchiwanie perełek | 6061-T6 · 316L · Stal | Obudowy, pokrywy,-powierzchnie niekrytyczne | Jednolite matowe wykończenie (kontrolowane pod kątem uwalniania cząstek) |
| Sprzątanie pomieszczeń czystych | Wszystkie materiały | Wszystkie części przed zapakowaniem | Wieloetapowe-czyszczenie ultradźwiękowe, bez oleju, bez pozostałości,-kontrola cząstek |
Kontrola jakości obróbki półprzewodników CNC
Podczas produkcji sprawdzamy krytyczne wymiary, pasowania, płaskość, bicie i wymagania dotyczące powierzchni, aby mieć pewność, że części półprzewodnikowe obrabiane CNC są zgodne z rysunkiem. W przypadku projektów wymagających udokumentowanej jakości możemy dostarczyć certyfikaty materiałowe, raporty wymiarowe i dokumentację czystości w celu wsparcia kontroli przychodzącej.
Weryfikacja materiału
Weryfikacja materiału
Kontrola wymiarowa
Inspekcja GD&T
Kontrola gwintu
Kontrola wykończenia powierzchni
Kontrola końcowa
Kontrola opakowań
| Przedmiot kontroli | Sprzęt / Metoda | Typowe części półprzewodnikowe |
|---|---|---|
| Kontrola wymiarowa | CMM · Suwmiarki · Mikrometry | Ogólne wymiary części |
| Średnica otworu i wału | Średnica · Wskaźnik sworznia · CMM | Wirniki pomp, trzpienie zaworów, złączki |
| Płaskość i równoległość | Płyta powierzchniowa · CMM | Powierzchnie uszczelniające, płyty chłodzące |
| Prawdziwa pozycja | CMM | Wzory otworów, płyty dystrybucyjne gazu |
| Chropowatość powierzchni | Tester chropowatości | Powierzchnie uszczelniające,-powierzchnie stykowe płytek |
| Kontrola gwintu | Przejdź/Nie-Przejdź do mierników gwintów | Okucia i elementy złączne |
| Weryfikacja materiału | Spektrometr + Certyfikat materiałowy | Przychodzący surowiec (dostępny EN 10204 3.1; certyfikat VIM-VAR na żądanie) |
| Kontrola czystości | Wizualna + kontrola cząstek na żądanie | Do pomieszczeń czystych-dostarczono części |
| Kontrola końcowa | CMM + Raport z inspekcji | Ostateczna akceptacja wymiarowa |
Prototypy i-małoseryjna obróbka CNC półprzewodników
Projekty półprzewodników często rozpoczynają się od prototypów - nowych projektów narzędzi, opracowania zestawu procesów, modernizacji części lub komponentów zamiennych, które muszą zostać sprawdzone przed produkcją. Wspieramyprototypy i obróbka CNC-na małą skalęod próbek początkowych po powtarzanie zamówień-małych partii.
Obróbka prototypów
Do opracowywania nowych narzędzi, walidacji procesów i zmian projektowych.
Typowa ilość:1–10 szt
Produkcja-małoseryjna
Do systemów pilotażowych, modernizacji narzędzi i pierwszych serii produkcyjnych.
Typowa ilość:10–1,000+ szt
Powtórz produkcję
W przypadku zapasowych zestawów procesowych i zamówień cyklicznych z ustalonymi projektami.
Typowa ilość:Na podstawie wymagań projektu
Nadaje się do
Komora próżniowa i sprzęt do dostarczania gazu
Elementy do obsługi i mocowania płytek
Części wytrawiane, osadzane i implantowane jonowo
Części RF, elektryczne i termiczne
Urządzenia metrologiczne i inspekcyjne
Części zamienne i zestawy procesowe do istniejących narzędzi
Pakowanie i czas realizacji półprzewodnikowych części CNC
Opakowanie
Ochrona indywidualna:Worki PE, pianka lub folia ochronna do powierzchni obrabianych
Opakowanie do pomieszczeń czystych:Oczyszczone części pakowane-podwójnie w czyste torby (dostępna jest opcja oczyszczania-azotem)
Małe części:Pudełka podzielone na części, aby zapobiec zarysowaniu i stykaniu się-{1}}części
Części precyzyjne:Wkładki piankowe i oddzielne przegródki na najważniejsze komponenty
Niestandardowe opakowanie:Numery części, etykiety, ilości i specyficzne-wymagania klienta dotyczące pakowania
Typowy czas realizacji
| Typ zamówienia | Typowy czas realizacji |
|---|---|
| Prototyp | 5–10 dni roboczych |
| Zamówienie o małej-wielkości | 10–20 dni roboczych |
| Zlecenie produkcyjne | 15–30 dni roboczych |
| Powtórz zamówienie | 10–25 dni roboczych |
Często zadawane pytania
P: Jakie półprzewodnikowe części obrabiane CNC możesz wyprodukować?
Odp.: Produkujemy niestandardowe komponenty komór próżniowych, kołnierze i złączki do przewodów gazowych, płyty rozprowadzające gaz, zaciski i pierścienie płytek, części ramion robota, elementy pomp i zaworów, części linii wiązki implantatorów jonowych, komponenty RF, płyty chłodzące, radiatory i części zestawów procesowych do sprzętu półprzewodnikowego.
P: Jakie tolerancje obróbki CNC można osiągnąć?
Odp.: Nasza standardowa tolerancja CNC wynosi zazwyczaj ± 0,05 mm, z precyzyjną obróbką do ± 0,02 mm i wybranymi cechami krytycznymi do ± 0,005–0,01 mm, w zależności od wymagań dotyczących geometrii, materiału i rysunku.
P: Czy możecie dostarczyć 316L VIM-VAR do komponentów próżniowych?
O: Tak. W przypadku usług związanych z ultra-wysoką-próżnią możemy obrabiać stal 316L VIM-VAR (topienie indukcyjne próżniowe i przetapianie łukiem próżniowym) o niskiej zawartości gazu, dostarczane z certyfikatem materiałowym. Aby zmniejszyć odgazowanie i wychwytywanie cząstek, dostępne jest elektropolerowanie.
P: Czy oferujecie sprzątanie i pakowanie zgodne z pomieszczeniami czystymi-?
O: Tak. Części można poddać wieloetapowemu-czyszczeniu ultradźwiękowemu, suszeniu i-podwójnemu pakowaniu w czyste worki (opcjonalnie przedmuchiwanie azotem), aby chronić powierzchnie- przed cząstkami stałymi-na potrzeby transportu do pomieszczeń czystych.
P: Czy możesz dostarczyć certyfikaty materiałowe i raporty z inspekcji?
O: Tak. W zależności od wymagań projektu możemy dostarczyć certyfikaty materiałowe (EN 10204 3.1, w tym certyfikat VIM-VAR), raporty z kontroli wymiarowej, raporty CMM i protokoły wykończenia powierzchni.
P: Czy można obrabiać elementy niemagnetyczne-?
O: Tak. Obrabiamy gatunki niemagnetyczne, w tym stal nierdzewną 316L, tytan klasy 5, aluminium 6061-T6 i PEEK, do zastosowań, w których należy unikać magnetyzmu.
P: Jakie wykończenia powierzchni stosujecie do części półprzewodnikowych?
Odp.: W zależności od materiału i zastosowania oferujemy elektropolerowanie, pasywację, anodowanie twarde typu II i typu III, niklowanie bezprądowe, złocenie i cynowanie, śrutowanie i czyszczenie pomieszczeń czystych.
P: Czy akceptujesz rysunki 2D i pliki CAD?
Odp.: Możemy pracować na popularnych plikach rysunków STEP, STP, IGES, IGS, SolidWorks, DXF i 2D.
P: Czy wspieracie produkcję prototypową i-niskoseryjną?
O: Tak. Obsługujemy prototypy w ilościach od 1–10 sztuk,-produkcję niskoseryjną od 10–1000+ sztuk, a także powtarzalne zamówienia produkcyjne na zestawy procesowe i części zamienne.
P: Jaki jest typowy czas realizacji półprzewodnikowych części CNC?
Odp.: Typowy czas realizacji wynosi 5–10 dni roboczych w przypadku prototypów, 10–20 dni roboczych w przypadku zamówień o małej-nakładzie i 15–30 dni roboczych w przypadku zleceń produkcyjnych, w zależności od złożoności części, ilości, materiału i wykończenia.
Popularne Tagi: półprzewodnikowe części obrabiane cnc, Chiny producenci półprzewodnikowych części obrabianych cnc, dostawcy, fabryka, tytan
Para
NrMoże ci się spodobać również
Wyślij zapytanie